1．加熱室：全SUS304或Inconel設計

2．使用溫度：600℃以下

3．使用空間：φ2200*H1100mm

4．極限真空度：1*10-3 Torr

5．使用電力：220V 50KW

6．控制方式：工業電腦+PLC

1．適用於半導體載盤烘烤、清潔

2．全金屬式熱區，確保加熱時的潔淨度，無交叉汙染問題

3．製程氣體流向控制

4．製程氣體預熱系統，確保與工件接觸時無溫差裂化之問題

5．製程配方儲存，全自動功能