真空烘烤爐

規格介紹:

1.加熱室:全SUS304設計

2.使用溫度:600℃以下

3.使用空間:φ2200*H1100mm

4.極限真空度:1*10-3 Torr

5.使用電力:220V 50KW

6.控制方式:工業電腦+PLC

特色說明:

1.適用於半導體載盤烘烤、清潔

2.全金屬式熱區,確保加熱時的潔淨度,無交叉汙染問題

3.製程氣體流向控制

4.製程氣體預熱系統,確保與工件接觸時無溫差裂化之問題

5.製程配方儲存,全自動功能